Hekk kif in-nodi tat-teknoloġija tas-semikondutturi jkomplu javvanzaw għal 7nm, 5nm, u daqsijiet iżgħar, it-teknoloġija tat-tindif tal-wiċċ tal-wejfer tiffaċċja sfidi mingħajr preċedent . proċessi tradizzjonali ta 'tindif imxarrab juru limitazzjonijiet dejjem jikbru fit-tneħħija ta' partiċelli tan-nanoskala u kontaminanti tal-films, flimkien ma 'kwistjonijiet bħalma huma l-iskart kimiku u l-konsum għoli ta' ilma .. Problemi billi nfissru l-proprjetajiet fiżikokimiċi uniċi ta 'fluwidi superkritiċi .
Karatteristiċi ta 'teknoloġija tat-tindif tal-wejfer superkritiku
Il-kumpanija tagħna għandha esperjenza rikka fit-teknoloġija u t-tagħmir tal-fluwidu tad-dijossidu tal-karbonju superkritiku, u t-tagħmir tat-tindif tal-wejfer superkritiku żviluppat għandu l-karatteristiċi li ġejjin:
Disinn ta 'struttura ta' kanal tat-tindif ta 'ftuħ ta' malajr morsa, u struttura ta 'qfil manwali tal-bolt meta mqabbla ma' faċli biex topera;
Disinn ta 'rack ta' tindif intern indipendenti, jista 'jissodisfa r-rekwiżiti ta' tindif ta 'daqsijiet differenti ta' wejfers;
Disinn ta 'struttura ta' torri ta 'adsorbiment personalizzat, jista' jassorbi u jirkupra aġenti kimiċi;
Materjal tal-azzar nadif għoli personalizzat, biex jissodisfa l-karatteristiċi tar-rekwiżiti tal-materjal tal-wejfer semikondutturi;
Disinn tal-filtru tal-karatteristika, eżattezza ta 'filtrazzjoni għolja, biex tevita partiċelli fini tista' tagħmel ħsara lill-wejfer;
Kontroll awtomatiku sħiħ .
Il-kumpanija tagħna tista 'wkoll tippersonalizza d-disinn u l-produzzjoni ta' tagħmir skond il-karatteristiċi tal-klijenti .
Parametri tekniċi ewlenin
| Le . |
isem
|
Parametru
|
| 1 | Id-dijametru ta 'ġewwa tat-tank tat-tindif | 110mm sa 400mm |
| 2 |
Speċifikazzjonijiet tat-tindif tal-wejfer |
4 ", 6", 8 "u 12" |
| 3 |
Pressjoni massima tax-xogħol |
40MPa |
| 4 |
Temperatura massima |
150 grad |
| 5 |
Materjal |
Azzar Nadif Għoli (EP) |
| 6 |
Preċiżjoni tal-filtrazzjoni tas-CO2 |
Mhux inqas minn 0.08um |
| 7 |
Modalità ta 'Kontroll |
Kompletament awtomatiku |
| 8 |
In-numru ta 'wejfers ipproċessat |
akbar minn 5 |
Komponenti ewlenin ta 'tagħmir tat-tindif tal-wejfer superkritiku
Sistema ta 'provvista CO₂
1. Tank tal-Ħażna (għal Likwidu Co₂)
2. pompa bi pressjoni għolja (tagħfas co₂ għal stat superkritiku)
3. heater (iżomm it-temperatura superkritika)
01
Kamra tat-Tindif
1. reżistenti għall-pressjoni għolja (50 MPa jew ogħla)
2. detentur tal-wejfer (jiżgura wejfers fil-post)
3. żennuni tal-fluwidu (jiżgura tindif uniformi)
02
Sistema ta 'kontroll tat-temperatura
1. tisħin (iżomm it-temperatura superkritika)
2. tkessiħ (tkessaħ is-sistema wara l-proċess)
03
Sistema ta 'rkupru
1. separatur (jifred il-co₂ u l-kontaminanti)
2. Unità ta 'Purifikazzjoni (Riċikli Co₂)
04
Sistema ta 'kontroll
1. awtomatikament jirregola l-pressjoni, it-temperatura, u r-rata tal-fluss
2. jimmonitorja l-proċess tat-tindif
05
Applikazzjonijiet kurrenti fil-manifattura tas-semikondutturi
Bħalissa, tagħmir tat-tindif tal-wejfer superkritiku sab applikazzjonijiet inizjali fiċ-ċipep tal-loġika avvanzati u l-manifattura tal-memorja . manifatturi globali tas-semikondutturi bħal TSMC u Samsung bdew jadottaw din it-teknoloġija fil-linji ta 'produzzjoni, primarjament għal proċessi ta' tindif ta 'saff kritiku .}
It-teknoloġija tat-tindif tal-wejfer superkritiku tirrappreżenta d-direzzjoni futura tal-proċessi tat-tindif tal-manifattura tas-semikondutturi . il-prestazzjoni tat-tindif superjuri tagħha u l-benefiċċji ekonomiċi u ambjentali sinifikanti jagħmluha indispensabbli fl-indirizzar tal-isfidi tat-tindif nanoskala li jħabbtu wiċċhom ma 'l-industrija tas-semikondutturi {{1. għalkemm għad hemm spazju għal titjib fl-ispejjeż Impjanti tal-manifattura tas-semikondutturi hekk kif timxi t-teknoloġija u l-ekosistema industrijali ttejjeb .
It-tags Popolari: Tagħmir tat-Tindif tal-Wafer Superkritiku, Ċina, Manifatturi, Fornituri, Fabbrika, Customized